Huyện Từ Liêm có diện tích tự nhiên rộng 75 km2, gồm 15 xã và một thị trấn. Dân số 550 nghìn người, mật độ dân số 10 nghìn người/km2. Trên địa bàn huyện có nhiều công trình quan trọng của quốc gia như Trung tâm Hội nghị Quốc gia, Khu liên hợp thể thao Quốc gia, trụ sở các cơ quan trung ương... hằng năm có nhiều sự kiện chính trị, kinh tế, văn hóa lớn được tổ chức trên địa bàn. Tuy nhiên, với diện tích lớn và tốc độ đô thị hóa nhanh, việc quản lý hành chính, quy hoạch, xây dựng, trật tự đô thị... gặp nhiều khó khăn, không đáp ứng được nhu cầu xây dựng, phát triển kinh tế-xã hội.
Theo đề án điều chỉnh địa giới hành chính, huyện Từ Liêm sẽ được tách thành hai quận Bắc Từ Liêm và Nam Từ Liêm. Quận Bắc Từ Liêm dự kiến gồm 13 phường, gồm Thượng Cát, Liên Mạc, Tây Tựu, Thụy Phương, Minh Khai, Ðông Ngạc 1, Ðông Ngạc 2, Cổ Nhuế 1, Cổ Nhuế 2, Xuân Ðỉnh 1, Xuân Ðỉnh 2, Phú Diễn 1 và Phú Diễn 2. Quận Nam Từ Liêm dự kiến gồm mười phường, gồm Tây Mỗ, Ðại Mỗ, Trung Văn, Cầu Diễn, Mỹ Ðình 1, Mỹ Ðình 2, Xuân Phương 1, Xuân Phương 2. Riêng xã Mễ Trì được tách thành hai phường là Mễ Trì, bao gồm thôn Mễ Trì Hạ, Mễ Trì Thượng và Phú Ðô thành lập từ thôn Phú Ðô.
Hiện tại, đề án trên đang được UBND huyện tổ chức lấy ý kiến nhân dân để trình các cấp có thẩm quyền xem xét, quyết định.